一、特點(diǎn)：
1、無(wú)導(dǎo)頭粗糙度傳感器，以精密導(dǎo)軌為測(cè)量基準(zhǔn)，具有精度更高，應(yīng)用更加廣泛的優(yōu)勢(shì)。極低的殘值噪聲，≤0.005μm！
2、殘值噪聲是粗糙度測(cè)量的一項(xiàng)重要指標(biāo)，殘值噪聲決定了測(cè)量的基礎(chǔ)精度。
3、分析功能：測(cè)量完成后，可根據(jù)需要選取需要評(píng)價(jià)的原始數(shù)據(jù)進(jìn)行粗糙度分析，還可以剔除不需要的數(shù)據(jù)。
4、測(cè)量長(zhǎng)度過(guò)短時(shí)，可采集完成后，選擇適當(dāng)?shù)脑u(píng)價(jià)長(zhǎng)度進(jìn)行分析。
二、測(cè)量原理
本儀器測(cè)量原理為直角坐標(biāo)測(cè)量法，即通過(guò)X軸、Z1軸傳感器，測(cè)繪出被測(cè)零件的表面輪廓的坐標(biāo)點(diǎn)，通過(guò)電器組件，將傳感器所測(cè)量的坐標(biāo)點(diǎn)數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔?span>PC機(jī)，軟件對(duì)所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算處理，標(biāo)注所需的工程測(cè)量項(xiàng)目。
三、測(cè)量功能
1、粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
2、波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
3、原始輪廓參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
四、測(cè)量范圍
|
序號(hào) |
項(xiàng)目 |
測(cè)量范圍 |
分辨率 |
|
1 |
驅(qū)動(dòng)器 |
150mm |
0.2μm |
|
2 |
傳感器 |
±620μm |
262144:1 |
|
3 |
立柱 |
420mm |
- |
五、技術(shù)規(guī)格
|
序號(hào) |
名稱 |
項(xiàng)目 |
參數(shù) |
|
1 |
技術(shù)參數(shù) |
線性精度 |
≤±(5nm+2.8%) |
|
殘值噪聲 |
≤0.005μm |
||
|
重復(fù)性 |
1δ≤1nm |
||
|
截止波長(zhǎng) |
0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm |
||
|
評(píng)定長(zhǎng)度 |
λcX2、3、4、5、6、7 |
||
|
2 |
運(yùn)動(dòng)控制 |
X軸驅(qū)動(dòng)方式 |
電動(dòng) |
|
Z軸驅(qū)動(dòng)方式 |
電動(dòng) |
||
|
X軸驅(qū)動(dòng)速度 |
0.05~15mm/s |
||
|
Z軸驅(qū)動(dòng)速度 |
0.2-15mm/s |
六、環(huán)境要求
1、室內(nèi)周圍應(yīng)無(wú)影響測(cè)量的灰塵、振動(dòng)、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場(chǎng)
2、地面震動(dòng)******RMS： ＜50HZ 2.5μm/s / ＞50HZ 5.0μm/s
3、電 源：AC 220V±5% 50Hz 單獨(dú)地線
4、功率需求：500W
5、溫度：現(xiàn)場(chǎng)溫度：12～26℃ 理想溫度：20±2℃ 階梯溫度不超過(guò)1℃/h
6、相對(duì)濕度：＜85%（無(wú)凝露）
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